Lista de solicitudes del Premio al Progreso Científico y Tecnológico 2023 del Instituto de Óptica y Mecánica de Changchun
A juzgar por la lista de premios específicos, la tecnología óptica de litografía y los proyectos de aplicación del Instituto de Óptica y Mecánica de Changchun de la Academia de Ciencias de China han ganado múltiples premios, entre los cuales 13 proyectos premiados son "Extreme Tecnología Óptica de Litografía Ultravioleta", seguido del Primer Premio al Progreso Científico y Tecnológico de la provincia de Jilin.
A juzgar por la lista de proyectos premiados, este es un gran proyecto de investigación científica y tecnológica, ni un solo proyecto de investigación y desarrollo ha logrado avances en la tecnología relevante, y al menos los proyectos relevantes lo han hecho. sido aceptado o mejorado.
Objetivamente hablando, los avances en la tecnología de las máquinas de litografía no son sencillos. La máquina de litografía EUV tiene tres tecnologías principales: el sistema de fuente de luz EUV, el sistema de espejo de arco de alta precisión y la mesa de trabajo dual de vacío de ultra alta precisión.
La tecnología del sistema de fuente de luz EUV proviene de la empresa estadounidense Cymer, que fue adquirida por ASML en 2012. El sistema de espejo curvo de alta precisión puede recolectar rayos láser, y el sistema de lente objetivo utiliza tecnología de Zeiss, Alemania; la tecnología de vacío de doble etapa de ultra alta precisión proviene de Alemania, y la solución de empaque general es proporcionada por TRUMPF, Alemania; .
Departamento de Investigación del Instituto de Óptica y Mecánica de Changchun
2065 438+05 El sitio web oficial del instituto de febrero muestra que hay 3 laboratorios nacionales clave, 2 centros nacionales de ingeniería clave y 2 laboratorios clave de la Academia China de Ciencias individuales.
Además, el instituto también cuenta con el Departamento de Investigación de Óptica Espacial, el Departamento de Investigación de Óptica Espacial, el Departamento de Investigación de Óptica Espacial, el Departamento de Investigación de Tecnología de Medición e Imágenes Aéreas, el Departamento de Investigación de Contramedidas Optoelectrónicas, el Departamento de Investigación de Control y Medición Optoelectrónica, Departamento de Investigación de Tecnología de Procesamiento de Imágenes y Centro de Investigación de Tecnología Óptica.
Departamento de investigación de UAV, Departamento de investigación de tecnología de detección fotoeléctrica, Centro de investigación de tecnología de rejillas, Centro de investigación y desarrollo de tecnología optoelectrónica, Centro de investigación de tecnología integral espacial, Centro de robots espaciales, Centro de investigación de ingeniería óptica de ultraprecisión, Imágenes 3D y realidad virtual Centro de investigación tecnológica y otros departamentos de investigación científica.
Laboratorios Clave Nacionales: Laboratorio Clave Estatal de Óptica Aplicada, Laboratorio Clave Estatal de Luminiscencia y Aplicaciones, Laboratorio Clave Estatal de Interacción de Láser y Materia.
Centro Nacional de Investigación de Tecnología de Ingeniería: Centro Nacional de Investigación de Tecnología de Ingeniería de Aplicaciones y Fabricación de Rejillas; Centro Conjunto Nacional y Local de Investigación de Ingeniería para Tecnología de Satélites Pequeños; Laboratorio Clave de Tecnología de Fabricación Avanzada de China; Sistemas Ópticos; Laboratorio Clave de Imágenes y Mediciones Ópticas de Aviación.
Enciclopedia Baidu-Instituto de Óptica, Física y Mecánica de Precisión de Changchun, Academia de Ciencias de China