Red de Respuestas Legales - Consulta de marcas - Patente de Wei Yu1. Un método de deposición a baja temperatura y alta velocidad de películas delgadas de nitruro de silicio amorfo hidrogenado, patente de invención nacional 2. Un método para preparar películas delgadas de carburo de nanosilicio hidrogenado a baja temperatura, Patente de Invención Nacional 3. Dispositivo de deposición química de vapor mejorado con plasma de onda espiral, patente de invención nacional.