Logros de la reforma de la fábrica de materiales semiconductores Emei
——Una revisión de los logros de la Fábrica de Materiales Semiconductores y el Instituto de Investigación de Emei en los últimos 30 años de reforma y apertura.
1. Abordar tenazmente los problemas clave y construir la primera línea de producción de polisilicio en China con derechos de propiedad intelectual independientes.
El polisilicio es un material básico importante para la información electrónica y es conocido como la "piedra angular de la microelectrónica". arquitectura" . Es la única materia prima para la producción de silicio monocristalino. En 1958, China comenzó a utilizar el "método tradicional de Siemens" para producir polisilicio. El polisilicio producido por el proceso tradicional de Siemens no solo no puede satisfacer las necesidades del desarrollo de la industria de la información electrónica en términos de cantidad, calidad, variedad, precio, etc., sino que también tiene un alto consumo de energía, un alto consumo de material y altos costos de producción. Y una grave contaminación ambiental, que imposibilita la expansión de la producción, lo que provocó que la producción de polisilicio de mi país se redujera y estuviera al borde de la extinción. Debido a la importancia del polisilicio semiconductor en la economía nacional y en las industrias militares y de defensa nacional, el país ha invertido muchos recursos humanos y financieros para intentar introducir tecnología extranjera avanzada de producción de polisilicio, pero no lo ha logrado. En este caso, la E-Semifactory y el Instituto de Investigación llevaron a cabo experimentos de investigación sobre la tecnología del polisilicio del 65438 al 0987. Después de más de 10 años de arduo trabajo, finalmente conquistamos las cuatro tecnologías centrales en el "Método Siemens mejorado" para la producción de polisilicio y construimos la primera línea de producción anual de polisilicio de 100 toneladas de mi país con derechos de propiedad intelectual independientes con 199+00 meses de anticipación. calendario En el mismo año Se pondrá completamente en producción a finales de año y se heredarán 10 toneladas en 2000. Los expertos coinciden en que la línea de producción, desde la tecnología hasta el equipamiento, desde el diseño hasta la operación, es un proyecto sistemático completado de forma independiente por personal científico y tecnológico chino. Durante el proceso de implementación, la mayoría del personal científico y tecnológico trabajó arduamente para abordar problemas clave, innovó valientemente y resolvió 15 tecnologías clave. Su éxito indica que mi país ha dominado básicamente la tecnología de producción de polisilicio más avanzada del mundo: el método Siemens mejorado, y tiene la tecnología y las capacidades independientes para diseñar, construir y gestionar la producción de polisilicio a mayor escala. Esta línea de producción ganó el "Premio al Proyecto de Demostración de Industrialización de Alta Tecnología" otorgado por la Comisión de Planificación Estatal en 2001, y ganó el Premio Especial al Progreso Científico y Tecnológico de la Provincia de Sichuan en mayo del mismo año.
Después de 2001, EBA Factory solicitó con éxito el proyecto "Proyecto de demostración de industrialización de alta tecnología de polisilicio de 1000 toneladas/año", dominó e implementó la tecnología central del método Siemens mejorado.
El segundo es la transformación tecnológica y la expansión de la producción, la calidad de los productos se ha mejorado continuamente y la producción se ha ampliado continuamente.
La capacidad del horno de reducción de polisilicio se ha ampliado con éxito de 3 pares de varillas en la etapa inicial de producción a 6 pares de varillas, 9 pares de varillas y finalmente 18 pares de varillas. De 2004 a 2005, E Semi Factory completó el "Proyecto de Transformación Técnica de la Línea de Producción de Polisilicio Solar con una Producción Anual de 200 toneladas", aumentando la capacidad de producción a 200 toneladas/año. Hemos desarrollado con éxito un horno de reducción de alta eficiencia y ahorro de energía a gran escala con 18 pares de varillas. La producción de un solo horno puede alcanzar más de 1 tonelada. El funcionamiento continuo a largo plazo ha sido muy bueno, lo que ha permitido a nuestra fábrica e instituto de investigación ascender constantemente a un nuevo nivel en el diseño, fabricación y tecnología de aplicación de hornos de reducción a gran escala.
Silicio monocristalino Antes de 1995, el tamaño de los productos de silicio monocristalino de Czochralski era inferior a φ 3 pulgadas y la competitividad del mercado no era fuerte. Desde 1996, hemos comprado 10 hornos Czochralski domésticos del tipo 62, 3 hornos Czochralski del tipo 80 y 3 hornos de gran escala (aparatos de fabricación propia). No sólo hemos ampliado nuestra capacidad de producción, sino que también hemos cambiado el tamaño de los productos principales. de φ mediante innovación tecnológica de 3 pulgadas a 4-6 pulgadas, mejorando la competitividad del producto. En la semifábrica y el instituto de investigación E se extrajo con éxito silicio monocristalino Czochralski de φ8 pulgadas. El silicio monocristalino de fusión por zonas ha superado sucesivamente las tecnologías de dopaje por irradiación dieléctrica y dopaje en fase gaseosa, mejorando en gran medida la sección transversal desigual y satisfaciendo las necesidades de los productos militares. Nuestra empresa también ha establecido una línea de producción de corte, esmerilado y pulido de φ 4-6 pulgadas para igualar la producción de silicio monocristalino, lo que ha mejorado el contenido técnico y el valor agregado del producto. A partir de 1996, nuestros productos de silicio monocristalino Czochralski ingresaron al mercado estadounidense y, a partir de 1998, nuestros productos de pulido de silicio se abrieron en el mercado de Hong Kong. También hemos desarrollado y lanzado al mercado más de 30 nuevos productos con alto contenido tecnológico, de los cuales más de 10 nuevos productos han llenado vacíos nacionales. El monocristal de silicio de alta resistencia y fusión zonal desarrollado por el Instituto de Placas de Hubei (Fábrica) ha ganado más de 20 premios provinciales y ministeriales, seis de los cuales son logros científicos y tecnológicos de vanguardia de China.
Materiales de alta pureza Los materiales de alta pureza de E-Semifactory incluyen 24 elementos, más de 50 variedades y más de 280 especificaciones. La pureza es de 5-7 "n" (99,999% ~ 99,99999%), y algunos elementos alcanzan 8 "n" (99,99999%). La variedad y pureza son las número uno en el país. Después de la transformación y expansión tecnológica, la capacidad de producción de antimonio, arsénico, estaño, indio, teluro, cadmio, fósforo y otras variedades de alta pureza ha mejorado considerablemente. Entre ellos, la capacidad de producción de antimonio de alta pureza se ha ampliado 20 veces, de 500 kilogramos a 12 toneladas por año, y la capacidad de producción de arsénico de alta pureza también ha aumentado de 4 a 5 veces, logrando la industrialización. La fábrica de placas E y el instituto de investigación se han convertido en la base de investigación y producción de metales de alta pureza más grande de China, con una participación en el mercado interno del 80% y la capacidad de exportar en grandes cantidades. Al mismo tiempo, la fábrica de EBA ha cooperado con el Ministerio de Industria de la Información y los institutos pertinentes de la industria de armas para proporcionar Ga, In, As en muchas tareas y proyectos militares clave, como "Satélite meteorológico", "Satélite de recursos", " Pioneer Satellite", etc., Sb, te, Cd y otros materiales de alta calidad y pureza, que han sido premiados repetidamente por el Consejo de Estado, la Comisión Militar Central y la Comisión de Ciencia y Tecnología.
La producción, operación y producción de los principales productos A finales de 2007, la producción, operación y producción de los principales productos de la fábrica de placas de Hubei habían aumentado varias veces en comparación con 1978. Por ejemplo, el valor total de la producción industrial en 1978 fue de 100.000 yuanes y en 2007 fue de 342,7 millones de yuanes. En el cuadro siguiente se muestran los cambios en la producción de los principales productos en los últimos 30 años.
Principales productos en 2007 (producción: toneladas)
Silicio policristalino 6 155
Silicio monocristalino 2 132
Procesamiento de obleas de silicio 0,178 47
Metal de alta pureza 2 (capacidad) 65 (capacidad)
3. Hazlo más grande y más fuerte, todo el trabajo va de la mano y los resultados son notables.
Nuestra empresa asume el desarrollo de la industria de materiales semiconductores de China como su propia responsabilidad y ha estado comprometida con la investigación y el desarrollo de nuevos productos, nuevos procesos y nuevas tecnologías. * * * Obtuve más de 300 resultados de investigaciones científicas importantes y completé más de 6.000 acuerdos de producción de pruebas de nuevos productos para la industria de defensa nacional de mi país y misiles intercontinentales, vehículos de lanzamiento submarinos, satélites de comunicaciones experimentales, el Colisionador de Positrones y Electrones de Beijing, la nave espacial Shenzhou 6, etc. Proyectos nacionales clave han proporcionado materiales semiconductores de alta calidad muy necesarios y han ganado numerosos premios. Especialmente desde la reforma y apertura, se han logrado logros notables en investigación científica, calidad, seguridad, protección ambiental y otros aspectos. De 1984 a 2005, E-Semifactory ganó 87 premios por logros en investigación científica en silicio policristalino, silicio monocristalino y metales de alta pureza, incluidos 23 premios provinciales y ministeriales de segunda clase y 36 premios de tercera y cuarta clase. Otros premios son los siguientes:
-1990 El disco abrasivo monocristalino de silicio ganó el Premio Nacional de Plata al Producto de Calidad;
-65438+ recibió el Premio Nacional de Protección Ambiental Avanzada otorgado por la Agencia Estatal de Medio Ambiente. Administración de Protección el 5 de junio de 1992 Título de empresa;
——En 2000, nuestra fábrica y nuestros productos aprobaron la certificación del sistema nacional de calidad;
——El 23 de mayo de 2000, E Semi Factory ganó el Premio Especial Provincial de Progreso Científico y Tecnológico;
——2001 11 El metal de alta pureza para semiconductores ganó la medalla de oro en la Exposición Internacional (Tianjin) de Patentes de Invención y Nuevas Tecnologías y Nuevos Productos;
——5438 de junio a octubre de 2003 El día 28, el Departamento Provincial de Ciencia y Tecnología de Sichuan otorgó a la fábrica de tableros electrónicos el título de "Empresa de alta tecnología de Sichuan";
——En 2006, la Comisión Popular China de Ciencia, Tecnología e Industria para la Defensa Nacional le otorgó el título de Unidad Avanzada para la Cooperación Industrial en Ciencia y Tecnología de la Defensa Nacional;
——En julio de 2008, fue nombrada Unidad de Apoyo al Procesamiento (Aplicación) de Materiales Cristalinos del Centro Internacional de Aplicación e Investigación de Tecnología Avanzada para la Industria de Ciencia y Tecnología por la Comisión Internacional de Ciencia y Tecnología.
Cuatro. Alianzas fuertes para perseguir el desarrollo de clusters industriales a gran escala.
El 26 de febrero de 2001, Meijia High Purity Materials, una empresa conjunta de American Crystal Technology Company (AXT) Co., Ltd. fue incluida oficialmente en la lista. Ambas partes invirtieron 28,8 millones de yuanes (nuestra empresa el 75%, Estados Unidos el 25%) para construir una línea de producción con una producción anual de 20 toneladas. El proyecto se puso en producción en 2002. La empresa estadounidense AXT garantiza el 75% de los productos, con ingresos por ventas anuales de 30 millones de yuanes y ganancias e impuestos de 100.000 yuanes. La exitosa cooperación en este proyecto es el primer paso para que nuestra fábrica y nuestro instituto avancen hacia el objetivo de crear agrupaciones industriales a gran escala en la producción de materiales metálicos de alta pureza.
El 28 de junio de 2006, Dong Qi y Yibang firmaron un acuerdo de cooperación en Chengdu para construir conjuntamente una cadena industrial fotovoltaica.
●El proyecto de polisilicio de 3×1.500 toneladas con una inversión total de 3.000 millones de yuanes avanza sin problemas en el distrito de Wutongqiao, Leshan. En febrero de 2007, se inició por completo el primer proyecto de ingeniería civil de 65.438+0,500 toneladas y la construcción se llevó a cabo según lo previsto. Ahora ha entrado en la etapa de instalación del equipo y se espera que entre en producción en febrero de 2007. Se espera que la segunda fase del proyecto de 1.500 toneladas esté terminada y puesta en funcionamiento en septiembre de 2009, y la tercera fase del proyecto de 1.500 toneladas comenzará en 2009.
●Del 13 al 15 de junio de 2007, se celebró con éxito en el Hotel Emeishan el "Tercer Simposio de Células y Materiales de Silicio Solar de China 2007". Más de 600 expertos, académicos y comerciantes nacionales y extranjeros se reunieron al pie del monte Emei para discutir el desarrollo y utilización de energía renovable.
●El equipo directivo de E Semi Factory ganó el título de “Colectivo Avanzado de Cuatro Buenos Equipos Directivos para la Creación de Empresas Estatales en la Provincia en 2007”.
●En 2007, pasó con éxito la auditoría de la Compañía de Certificación de las Tres Gargantas de Sichuan. En agosto de ese año obtuvimos las certificaciones de los estándares de calidad ISO9001:2000:2000, estándares ambientales ISO14004:2004:2004 y estándares de seguridad y salud ocupacional GB/T 28001-2001. Y en 2007 la Oficina Provincial de Calidad y Supervisión Técnica de Sichuan le otorgó el título honorífico de "Mes de la Calidad".
●El 29 de abril de 2008, se llevó a cabo la primera fase del proyecto fotovoltaico de 240 megavatios con una inversión total de 2.500 millones de yuanes en el río Wenfu en la ciudad de Emeishan. La primera fase del proyecto de 120 MW avanza sin problemas y se espera que esté terminada y puesta en funcionamiento en el primer semestre de 2009.
La fábrica de silicio monocristalino se dedica a la investigación y producción de silicio monocristalino desde hace más de 40 años. Después de años de desarrollo, la capacidad de producción de silicio cristalino de Emei Semiconductor Materials Factory ha seguido expandiéndose. La capacidad de producción de cristal de Czochralski alcanza 65438±0,20 toneladas/año, incluidos productos de grado solar 65438±0,00 toneladas/año, monocristalinos de grado IC 65438±0,5 toneladas/año, productos de grado transistor 5 toneladas/año y producción monocristalina de fusión por zonas. capacidad 30 toneladas/año Año, diámetro máximo ф5. Entre ellos, los productos monocristalinos NTDFZ ocupan una gran parte del mercado nacional y son los productos estrella de nuestra fábrica. También somos la única empresa en China que puede proporcionar silicio monocristalino de ultra alta resistencia fundido en zona de vacío, y nuestros productos se utilizan ampliamente en la producción de dispositivos especiales.
La fábrica de silicio monocristalino es una unidad subsidiaria especializada en la investigación y producción de monocristales de fusión de zona y Czochralski. Cuenta con una gran cantidad de personal profesional y técnico y técnicos de extracción de cristales de alto nivel.
Contamos con el horno F Z-30, C G6000, T D R80 y otros equipos de fabricación de monocristal de silicio más avanzados del mundo, así como un sólido equipo de gestión de equipos. Los hornos de fundición domésticos se han utilizado bien en nuestra fábrica, lo que es inseparable del nivel de transformación eléctrica.
La fábrica de polisilicio se dedica a la investigación y producción de polisilicio desde hace más de 30 años. Después de una investigación técnica a largo plazo y una mejora del sistema de producción, se resolvió la tecnología de proceso de Siemens y se conquistaron las cuatro tecnologías centrales en la "mejora del método de Siemens". Tener derechos de propiedad intelectual independientes. Con la finalización y mejora de la "Línea Experimental Industrial Clave Nacional con una Producción Anual de 100 toneladas de Polisilicio", la capacidad de producción de polisilicio ha alcanzado las 100 toneladas/año y la calidad del producto se ha mejorado continuamente. Los indicadores de calidad técnica de los productos cumplen con los requisitos de nivel de circuito, nivel de transistor, nivel solar monocristal Czochralski y monocristal de fusión de zona. Al mismo tiempo, también puso fin a nuestra historia de no exportar polisilicio. Además de satisfacer nuestras propias necesidades, nuestros productos también se venden en todo el mundo y han recibido comentarios favorables de los clientes. En 2006, se completó la primera línea de producción de polisilicio de China con una producción anual de 200 toneladas, lo que llevó la tecnología de producción de polisilicio de China a las filas más avanzadas del mundo. Tiene la línea de producción de polisilicio más grande y de mejor calidad en China con derechos de propiedad intelectual independientes, el 80% de expertos nacionales en polisilicio y un equipo técnico profesional de primera clase en investigación de procesos, fabricación y mantenimiento de equipos.
Hay más de 300 empleados y más de 60 ingenieros y personal técnico.
La producción y procesamiento de obleas de silicio monocristalino tiene una trayectoria de más de 20 años. Entre ellas, las obleas pulidas de nivel IC N < 100 > y P < 11 > ganaron el Premio Nacional de Plata. Tras la inversión, ahora tienen capacidad para pulir 300.000 obleas, siliconar 600.000 obleas y pulir 2,8 millones de obleas al año. Tiene muchos equipos de procesamiento de alta precisión líderes en el mundo, como D S261, máquina cortadora de alambres múltiples 265, máquina cortadora interna T S-23, máquina biseladora W-S-4000, amoladora SPEODFOM, máquina pulidora, etc., con un procesamiento máximo. Con un diámetro de ф6 y el disco abrasivo más delgado de 200 micrones, puede proporcionar obleas de silicio monocristalino de alta calidad para la fabricación de circuitos integrados y dispositivos discretos.
La División de Alta Pureza de la Fábrica de Materiales Semiconductores Dongqi Emei (anteriormente la Fábrica de Materiales Compuestos y Metales de Alta Pureza) se estableció en 1964. Es la primera fábrica de materiales metálicos de alta pureza en China con la tecnología más completa. Tecnologías y las variedades más completas, es también la única unidad de investigación de materiales metálicos de alta pureza en China con centros completos de análisis y pruebas e instalaciones de protección ambiental.