Red de Respuestas Legales - Derecho de patentes - Modo de ruta de blindaje Guidewire DSAEl método consiste en proyectar el patrón de la máscara sobre la superficie de la muestra a través de una proyección óptica para la transferencia del patrón. En la guía DSA, el haz de electrones está controlado por un alineador de máscara electrónico y el patrón se escribe directamente en la superficie de la muestra. Esta tecnología tiene las ventajas de alta resolución, alta precisión y alta flexibilidad, y puede realizar micro-nanoestructuras muy complejas. La litografía de haz de escritura directa y la litografía de máscara son dos tecnologías de micronanoprocesamiento comúnmente utilizadas.