¿Cómo lo hace spaceetch?

Spaceetch, ¿primero hacer crecer una capa de 150 mediante oxidación térmica a 700 ℃? El revestimiento TEOS izquierdo y derecho sirve como capa de tope para el grabado de nitruro y también sirve como capa amortiguadora para el nitruro para reducir la tensión del nitruro sobre el Si. Luego deposite una capa de SIN (300?), que es lo principal, pero no demasiado gruesa causará daños a la estructura del revestimiento inferior del TEOS, es decir, el revestimiento del TEOS no podrá soportarlo.

Sin embargo, la junta requiere un cierto espesor, por lo que se utiliza una capa de TEOS (¿1000? ¿100?) para formar una estructura O-N-O.

Durante el grabado del espaciador, el grabado seco se detiene en el liner TEOS y luego se utiliza el grabado húmedo para grabar el liner TEOS, pero no lo elimina por completo. Después de quitar el óxido, ¿todavía queda el 50% del óxido del revestimiento? Como capa de enmascaramiento para IMP de SN+ y SP+.