¿Qué significa para China romper con la máquina de litografía?

La máquina de litografía SP desarrollada por el Laboratorio Estatal Clave de Tecnología Óptica de Microfabricación del Instituto de Optoelectrónica es la primera máquina de litografía del mundo que puede alcanzar 22 nanómetros en una sola imagen. Combinada con tecnología de exposición múltiple, puede. utilizarse para preparar dispositivos de información por debajo de 10 nanómetros. Este no solo es un cambio importante en la litografía óptica en el mundo, sino que también acelerará el avance de la Industria 4.0 y hará realidad la hermosa visión de Made in China 2025.

Durante mucho tiempo, la tecnología de fotolitografía de mi país se ha quedado rezagada con respecto a los países avanzados y se ha convertido en una deficiencia en el proceso de modernización industrial de mi país. En 2006, el Ministerio de Ciencia y Tecnología propuso un plan a mediano y largo plazo para la tecnología de litografía, con la esperanza de que el Laboratorio Nacional Clave de la Academia de Ciencias de China pudiera encontrar un camino para la litografía que supere las barreras técnicas extranjeras y tenga derechos de propiedad intelectual independientes. . La máquina de litografía óptica SP del Instituto de Optoelectrónica evita la ruta tradicional de la tecnología de exposición de 193 nanómetros. El uso de fuentes de luz de longitud de onda larga también puede obtener un patrón con una resolución que rompe el límite de difracción, por lo que tendrá un gran impacto en el costo y la eficiencia. La seguridad es una tecnología original con todos los derechos de propiedad intelectual.

Aprendí antes que las máquinas de litografía son la máquina madre para fabricar CPU de computadora y están en la cima del campo tecnológico. Actualmente, las máquinas de litografía avanzadas del mundo están básicamente monopolizadas por la empresa holandesa ASML, que tiene. el proceso de fabricación de chips de CPU más avanzado es de 14 nanómetros, no se vende a los chinos, y las máquinas de fotolitografía ligeramente obsoletas vendidas a empresas chinas también tienen prohibido su uso para fabricar chips de CPU desarrollados de forma independiente como Dragon Heart. Tanto Estados Unidos como Japón son inadecuados en este campo, pero Chengdu es demasiado capaz.

En términos de tecnología, las máquinas de litografía ASML pueden utilizar luz ultravioleta extrema (EUV) con una longitud de onda de 13,5 nanómetros para lograr la producción de chips en procesos de 14 nanómetros, 10 nanómetros y 7 nanómetros. También puede realizar la producción de chips en procesos de 9 nanómetros, 8 nanómetros, 6 nanómetros, 5 nanómetros, 4 nanómetros e incluso 3 nanómetros. Se informa que TSMC compró dos NXE 3300B de ASML (posteriormente actualizados al mismo nivel técnico que NXE 3350B con la ayuda de ASML). Samsung también compró equipos EUV, NXE 3350B y la última máquina de litografía NXE3400 de ASML. varios NXE 3350B. Y la máquina de litografía ultravioleta extrema NXE 3350B EUV se utiliza principalmente para pruebas y producción de prueba relacionadas con 7 nm. En abril de este año, TSMC comenzó a procesar sus productos de chips de proceso de 7 nm, Samsung pronto lanzará productos de proceso de 8 nm e Intel puede producir productos de proceso de 10 nm. De esto se puede ver que la máquina de litografía EUV de ASML se ha convertido en la base y la clave para su capacidad de realizar rápidamente planes de producción en masa para procesos de menor tamaño nanométrico. No importa cómo Samsung, Intel y TSMC compitan en torno a tecnologías de procesos específicas, ASML es, en última instancia, la máquina de litografía EUV. El mayor jugador detrás de esto es Overlord, el mayor ganador, porque ninguno de ellos puede prescindir de su máquina de litografía EUV.